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TFT阵列金属电极的制备与性能

文献类型:期刊论文

作者王大海 ; 杨柏梁 ; 吴渊 ; 刘传珍 ; 李牧菊 ; 李轶华 ; 张玉 ; 廖燕平
刊名液晶与显示
出版日期2000-12-30
期号04页码:260-267
关键词磁控溅射 TFT器件 溅射速率 金属薄膜
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30722]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王大海,杨柏梁,吴渊,等. TFT阵列金属电极的制备与性能[J]. 液晶与显示,2000(04):260-267.
APA 王大海.,杨柏梁.,吴渊.,刘传珍.,李牧菊.,...&廖燕平.(2000).TFT阵列金属电极的制备与性能.液晶与显示(04),260-267.
MLA 王大海,et al."TFT阵列金属电极的制备与性能".液晶与显示 .04(2000):260-267.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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