TFT阵列金属电极的制备与性能
文献类型:期刊论文
作者 | 王大海 ; 杨柏梁 ; 吴渊 ; 刘传珍 ; 李牧菊 ; 李轶华 ; 张玉 ; 廖燕平 |
刊名 | 液晶与显示
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出版日期 | 2000-12-30 |
期号 | 04页码:260-267 |
关键词 | 磁控溅射 TFT器件 溅射速率 金属薄膜 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30722] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王大海,杨柏梁,吴渊,等. TFT阵列金属电极的制备与性能[J]. 液晶与显示,2000(04):260-267. |
APA | 王大海.,杨柏梁.,吴渊.,刘传珍.,李牧菊.,...&廖燕平.(2000).TFT阵列金属电极的制备与性能.液晶与显示(04),260-267. |
MLA | 王大海,et al."TFT阵列金属电极的制备与性能".液晶与显示 .04(2000):260-267. |
入库方式: OAI收割
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