光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高
文献类型:期刊论文
作者 | 张红胜 ; 冯长有 |
刊名 | 光学精密工程
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出版日期 | 2000-10-30 |
期号 | 05页码:482-486 |
关键词 | 圆光栅 刻划误差 常角法 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30760] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张红胜,冯长有. 光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高[J]. 光学精密工程,2000(05):482-486. |
APA | 张红胜,&冯长有.(2000).光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高.光学精密工程(05),482-486. |
MLA | 张红胜,et al."光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高".光学精密工程 .05(2000):482-486. |
入库方式: OAI收割
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