运用光蚀刻技术制造金属光栅盘
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金轸裕 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 1996-06-30 |
| 期号 | 03页码:85-90 |
| 关键词 | 光蚀刻 光化学加工 光致抗蚀剂 金属光栅盘 腐蚀因子 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30779]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金轸裕. 运用光蚀刻技术制造金属光栅盘[J]. 光学精密工程,1996(03):85-90. |
| APA | 金轸裕.(1996).运用光蚀刻技术制造金属光栅盘.光学精密工程(03),85-90. |
| MLA | 金轸裕."运用光蚀刻技术制造金属光栅盘".光学精密工程 .03(1996):85-90. |
入库方式： OAI收割
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