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先进技术微通道板 (AT-MCP)

文献类型:期刊论文

作者姜德龙 ; 富丽晨 ; 李野 ; 卢耀华 ; 田景全 ; 王桂芬 ; 孟素英
刊名长春光学精密机械学院学报
出版日期1996-09-15
期号03页码:26-29
关键词先进技术 微通道板 离子刻蚀 化学气相沉积
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30785]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
姜德龙,富丽晨,李野,等. 先进技术微通道板 (AT-MCP)[J]. 长春光学精密机械学院学报,1996(03):26-29.
APA 姜德龙.,富丽晨.,李野.,卢耀华.,田景全.,...&孟素英.(1996).先进技术微通道板 (AT-MCP).长春光学精密机械学院学报(03),26-29.
MLA 姜德龙,et al."先进技术微通道板 (AT-MCP)".长春光学精密机械学院学报 .03(1996):26-29.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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