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多功能干涉测量装置及其应用

文献类型:期刊论文

作者周长新
刊名光学仪器
出版日期1988-06-29
期号03页码:38-47
关键词干涉条纹:4398 表面粗糙度:4072 测量装置:3468 扫描干涉仪:3373 干涉装置:2877 薄膜厚度:2849 多光束干涉仪:2591 精细结构:2444 条纹宽度:2432 测量精度:2377
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30830]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
周长新. 多功能干涉测量装置及其应用[J]. 光学仪器,1988(03):38-47.
APA 周长新.(1988).多功能干涉测量装置及其应用.光学仪器(03),38-47.
MLA 周长新."多功能干涉测量装置及其应用".光学仪器 .03(1988):38-47.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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