多功能干涉测量装置及其应用
文献类型:期刊论文
作者 | 周长新 |
刊名 | 光学仪器
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出版日期 | 1988-06-29 |
期号 | 03页码:38-47 |
关键词 | 干涉条纹:4398 表面粗糙度:4072 测量装置:3468 扫描干涉仪:3373 干涉装置:2877 薄膜厚度:2849 多光束干涉仪:2591 精细结构:2444 条纹宽度:2432 测量精度:2377 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30830] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 周长新. 多功能干涉测量装置及其应用[J]. 光学仪器,1988(03):38-47. |
APA | 周长新.(1988).多功能干涉测量装置及其应用.光学仪器(03),38-47. |
MLA | 周长新."多功能干涉测量装置及其应用".光学仪器 .03(1988):38-47. |
入库方式: OAI收割
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