Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李文明 ; 王煜明 ; 吕俊霞 |
| 刊名 | 吉林大学自然科学学报
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| 出版日期 | 1998-11-15 |
| 期号 | 04页码:54-56 |
| 关键词 | 多层膜 X射线衍射线形分析 晶粒尺寸 位错密度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30850]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文明,王煜明,吕俊霞. Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征[J]. 吉林大学自然科学学报,1998(04):54-56. |
| APA | 李文明,王煜明,&吕俊霞.(1998).Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征.吉林大学自然科学学报(04),54-56. |
| MLA | 李文明,et al."Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征".吉林大学自然科学学报 .04(1998):54-56. |
入库方式： OAI收割
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