金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘传珍 ; 杨柏梁 ; 张玉 ; 李牧菊 ; 吴渊 ; 廖燕平 ; 王大海 ; 邱法斌 ; 李轶华 ; 黄锡珉 |
| 刊名 | 液晶与显示
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| 出版日期 | 2000-12-30 |
| 期号 | 04页码:250-254 |
| 关键词 | 金属诱导晶化 多晶硅薄膜 退火 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30855]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘传珍,杨柏梁,张玉,等. 金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究[J]. 液晶与显示,2000(04):250-254. |
| APA | 刘传珍.,杨柏梁.,张玉.,李牧菊.,吴渊.,...&黄锡珉.(2000).金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究.液晶与显示(04),250-254. |
| MLA | 刘传珍,et al."金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究".液晶与显示 .04(2000):250-254. |
入库方式： OAI收割
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