双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曲轶 ; 高欣 ; 张宝顺 ; 薄报学 ; 张兴德 |
| 刊名 | 半导体技术
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| 出版日期 | 1999-12-13 |
| 期号 | 06页码:45-46+58 |
| 关键词 | 双晶x射线衍射 超薄层厚度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30873]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲轶,高欣,张宝顺,等. 双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度[J]. 半导体技术,1999(06):45-46+58. |
| APA | 曲轶,高欣,张宝顺,薄报学,&张兴德.(1999).双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度.半导体技术(06),45-46+58. |
| MLA | 曲轶,et al."双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度".半导体技术 .06(1999):45-46+58. |
入库方式： OAI收割
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