BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邵景鸿 ; 徐正良 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1993-03-02 |
| 期号 | 01页码:13-21 |
| 关键词 | X射线光刻 光束线 真空 扫描 铍窗 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30877]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邵景鸿,徐正良. BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性[J]. 光学精密工程,1993(01):13-21. |
| APA | 邵景鸿,&徐正良.(1993).BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性.光学精密工程(01),13-21. |
| MLA | 邵景鸿,et al."BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性".光学精密工程 .01(1993):13-21. |
入库方式： OAI收割
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