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定偏心锡磨盘超精密平面抛光均匀去除模拟计算(Ⅰ)

文献类型:期刊论文

作者张红霞 ; 高宏刚 ; 吴明根
刊名光学精密工程
出版日期1998-04-30
期号02页码:78-83
关键词 抛光 超精密加工 平面
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30896]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
张红霞,高宏刚,吴明根. 定偏心锡磨盘超精密平面抛光均匀去除模拟计算(Ⅰ)[J]. 光学精密工程,1998(02):78-83.
APA 张红霞,高宏刚,&吴明根.(1998).定偏心锡磨盘超精密平面抛光均匀去除模拟计算(Ⅰ).光学精密工程(02),78-83.
MLA 张红霞,et al."定偏心锡磨盘超精密平面抛光均匀去除模拟计算(Ⅰ)".光学精密工程 .02(1998):78-83.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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