低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王刚 ; 杨柏梁 ; 赵超 ; 刘宏宇 ; 黄锡珉 |
| 刊名 | 液晶与显示
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| 出版日期 | 2000-03-30 |
| 期号 | 01页码:28-34 |
| 关键词 | α-Ta 直流磁控溅射 X射线衍射 方块电阻 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30905]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王刚,杨柏梁,赵超,等. 低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究[J]. 液晶与显示,2000(01):28-34. |
| APA | 王刚,杨柏梁,赵超,刘宏宇,&黄锡珉.(2000).低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究.液晶与显示(01),28-34. |
| MLA | 王刚,et al."低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究".液晶与显示 .01(2000):28-34. |
入库方式： OAI收割
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