振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿
文献类型：期刊论文
| 作者 | 万志 ; 杜温锡 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2000-04-30 |
| 期号 | 02页码:115-119 |
| 关键词 | 振镜扫描 图形畸变 曝光量补偿 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30906]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 万志,杜温锡. 振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿[J]. 光学精密工程,2000(02):115-119. |
| APA | 万志,&杜温锡.(2000).振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿.光学精密工程(02),115-119. |
| MLA | 万志,et al."振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿".光学精密工程 .02(2000):115-119. |
入库方式： OAI收割
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