微电子机械系统中的压电薄膜微马达
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁静秋
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1995-08-30 |
| 期号 | 04页码:1-6 |
| 关键词 | 压电薄膜微马达 广义瑞利波 IC工艺 微型机械 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30907]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋. 微电子机械系统中的压电薄膜微马达[J]. 光学精密工程,1995(04):1-6. |
| APA | 梁静秋.(1995).微电子机械系统中的压电薄膜微马达.光学精密工程(04),1-6. |
| MLA | 梁静秋."微电子机械系统中的压电薄膜微马达".光学精密工程 .04(1995):1-6. |
入库方式： OAI收割
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