纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算
文献类型:期刊论文
作者 | 文大化![]() |
刊名 | 光学精密工程
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出版日期 | 1997-12-30 |
期号 | 06页码:83-87 |
关键词 | 有限元法 纵弯式压电微电机 微电子机械系统 自然频率 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30925] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 文大化. 纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算[J]. 光学精密工程,1997(06):83-87. |
APA | 文大化.(1997).纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算.光学精密工程(06),83-87. |
MLA | 文大化."纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算".光学精密工程 .06(1997):83-87. |
入库方式: OAI收割
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