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纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算

文献类型:期刊论文

作者文大化
刊名光学精密工程
出版日期1997-12-30
期号06页码:83-87
关键词有限元法 纵弯式压电微电机 微电子机械系统 自然频率
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30925]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
文大化. 纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算[J]. 光学精密工程,1997(06):83-87.
APA 文大化.(1997).纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算.光学精密工程(06),83-87.
MLA 文大化."纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算".光学精密工程 .06(1997):83-87.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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