微通道热沉标准单元制作的SEM观察
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王晓华 ; 张宝顺 ; 王玉霞 ; 任大翠 ; 张兴德 |
| 刊名 | 电子显微学报
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| 出版日期 | 2000-08-25 |
| 期号 | 04页码:587-588 |
| 关键词 | 微通道结构:5798 标准单元:5527 半导体激光器:3149 SEM观察:3000 国家重点实验室:2287 高功率:2245 热沉:1741 精密机械:1309 冷却器:1010 硅微通道:926 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30967]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓华,张宝顺,王玉霞,等. 微通道热沉标准单元制作的SEM观察[J]. 电子显微学报,2000(04):587-588. |
| APA | 王晓华,张宝顺,王玉霞,任大翠,&张兴德.(2000).微通道热沉标准单元制作的SEM观察.电子显微学报(04),587-588. |
| MLA | 王晓华,et al."微通道热沉标准单元制作的SEM观察".电子显微学报 .04(2000):587-588. |
入库方式： OAI收割
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