双光束激光扫描尺寸测量系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张国玉 ; 安志勇 ; 李成志 ; 高玉军 |
| 刊名 | 半导体光电
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| 出版日期 | 1998-10-30 |
| 期号 | 05页码:38-41 |
| 关键词 | 激光扫描 双光束 直径 扫描光学系统 非接触测量 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30991]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张国玉,安志勇,李成志,等. 双光束激光扫描尺寸测量系统[J]. 半导体光电,1998(05):38-41. |
| APA | 张国玉,安志勇,李成志,&高玉军.(1998).双光束激光扫描尺寸测量系统.半导体光电(05),38-41. |
| MLA | 张国玉,et al."双光束激光扫描尺寸测量系统".半导体光电 .05(1998):38-41. |
入库方式： OAI收割
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