准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁静秋
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1999-10-30 |
| 期号 | 05页码:63-66 |
| 关键词 | 准分子激光 直接刻蚀 微机械零件 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30992]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋. 准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究[J]. 光学精密工程,1999(05):63-66. |
| APA | 梁静秋.(1999).准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究.光学精密工程(05),63-66. |
| MLA | 梁静秋."准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究".光学精密工程 .05(1999):63-66. |
入库方式： OAI收割
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