干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵海峰 ; 梁静秋
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| 刊名 | 发光学报
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| 出版日期 | 1998-09-20 |
| 期号 | 03页码:80-82 |
| 关键词 | 硅微尖 冷阴极 干法刻蚀 湿法刻蚀 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31028]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵海峰,梁静秋. 干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较[J]. 发光学报,1998(03):80-82. |
| APA | 赵海峰,&梁静秋.(1998).干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较.发光学报(03),80-82. |
| MLA | 赵海峰,et al."干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较".发光学报 .03(1998):80-82. |
入库方式： OAI收割
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