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正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究

文献类型:期刊论文

作者陈星旦
刊名仪器仪表学报
出版日期1996-12-20
期号06页码:666-668
关键词显微成像系统:7213 多层膜:5748 软X射线:2657 X射线:1532 正入射:1527 实验研究:1060 反射镜:843 激光等离子体光源:763 工作波长:633 极限分辨率:597
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31034]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
陈星旦. 正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究[J]. 仪器仪表学报,1996(06):666-668.
APA 陈星旦.(1996).正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究.仪器仪表学报(06),666-668.
MLA 陈星旦."正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究".仪器仪表学报 .06(1996):666-668.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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