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X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究

文献类型:期刊论文

作者梁静秋
刊名微细加工技术
出版日期1997-03-30
期号01页码:35-40
关键词Bragg-Fersnel元件 多层膜结构 热稳定性 化学稳定性
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31049]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
梁静秋. X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究[J]. 微细加工技术,1997(01):35-40.
APA 梁静秋.(1997).X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究.微细加工技术(01),35-40.
MLA 梁静秋."X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究".微细加工技术 .01(1997):35-40.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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