X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究
文献类型:期刊论文
| 作者 | 梁静秋
|
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 1997-03-30 |
| 期号 | 01页码:35-40 |
| 关键词 | Bragg-Fersnel元件 多层膜结构 热稳定性 化学稳定性 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31049] ![]() |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋. X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究[J]. 微细加工技术,1997(01):35-40. |
| APA | 梁静秋.(1997).X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究.微细加工技术(01),35-40. |
| MLA | 梁静秋."X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究".微细加工技术 .01(1997):35-40. |
入库方式: OAI收割
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