磁控溅射法制备Mo/B_4C软X射线多层膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈星旦
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| 刊名 | 真空科学与技术
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| 出版日期 | 1999-04-15 |
| 期号 | 02页码:67-69 |
| 关键词 | 软X射线多层膜 磁控溅射 Mo/B4C |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31052]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈星旦. 磁控溅射法制备Mo/B_4C软X射线多层膜[J]. 真空科学与技术,1999(02):67-69. |
| APA | 陈星旦.(1999).磁控溅射法制备Mo/B_4C软X射线多层膜.真空科学与技术(02),67-69. |
| MLA | 陈星旦."磁控溅射法制备Mo/B_4C软X射线多层膜".真空科学与技术 .02(1999):67-69. |
入库方式： OAI收割
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