LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘杰 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 1994-08-30 |
| 期号 | 04页码:131-139 |
| 关键词 | 终点监测 锁相放大 开关电容滤波器 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31076]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘杰. LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测[J]. 光学精密工程,1994(04):131-139. |
| APA | 刘杰.(1994).LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测.光学精密工程(04),131-139. |
| MLA | 刘杰."LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测".光学精密工程 .04(1994):131-139. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。