用于微机械工艺的精密电铸设备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈英俊 ; 徐峰林 ; 宣明 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1995-06-30 |
| 期号 | 03页码:60-63 |
| 关键词 | 微型机械 LIGA工艺 精密电铸设备 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31127]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈英俊,徐峰林,宣明. 用于微机械工艺的精密电铸设备[J]. 光学精密工程,1995(03):60-63. |
| APA | 陈英俊,徐峰林,&宣明.(1995).用于微机械工艺的精密电铸设备.光学精密工程(03),60-63. |
| MLA | 陈英俊,et al."用于微机械工艺的精密电铸设备".光学精密工程 .03(1995):60-63. |
入库方式： OAI收割
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