LIGA工艺探讨
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王志勤 ; 姚劲松 ; 宣明 ; 王一凡 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 1993-12-27 |
| 期号 | 06页码:67-70 |
| 关键词 | LIGA工艺 X射线掩模 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31158]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王志勤,姚劲松,宣明,等. LIGA工艺探讨[J]. 光学精密工程,1993(06):67-70. |
| APA | 王志勤,姚劲松,宣明,&王一凡.(1993).LIGA工艺探讨.光学精密工程(06),67-70. |
| MLA | 王志勤,et al."LIGA工艺探讨".光学精密工程 .06(1993):67-70. |
入库方式： OAI收割
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