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微机械中新型压电微电机致动机理分析

文献类型:期刊论文

作者马建旭 ; 贾志 ; 杨保忠 ; 马培荪
刊名上海交通大学学报
出版日期1999-04-30
期号04页码:98-101
关键词微机械 压电微电机 致动机理
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31166]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
马建旭,贾志,杨保忠,等. 微机械中新型压电微电机致动机理分析[J]. 上海交通大学学报,1999(04):98-101.
APA 马建旭,贾志,杨保忠,&马培荪.(1999).微机械中新型压电微电机致动机理分析.上海交通大学学报(04),98-101.
MLA 马建旭,et al."微机械中新型压电微电机致动机理分析".上海交通大学学报 .04(1999):98-101.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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