DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭玉彬 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 1995-12-30 |
| 期号 | 04页码:11-14 |
| 关键词 | 软X射线 光刻胶 感光灵敏度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31230]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭玉彬. DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量[J]. 微细加工技术,1995(04):11-14. |
| APA | 郭玉彬.(1995).DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量.微细加工技术(04),11-14. |
| MLA | 郭玉彬."DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量".微细加工技术 .04(1995):11-14. |
入库方式： OAI收割
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