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一种精密光栅位移测量装置的设计

文献类型:期刊论文

作者乔永凡
刊名长春光学精密机械学院学报
出版日期1987-04-02
期号01页码:63-67
关键词光栅尺:4674 光栅位移测量:4495 光栅付:4379 光栅莫尔条纹:3703 读数头:2412 测量精度:2347 测量装置:2066 设计:1803 仪器:1788 结构紧凑:1726
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31258]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
乔永凡. 一种精密光栅位移测量装置的设计[J]. 长春光学精密机械学院学报,1987(01):63-67.
APA 乔永凡.(1987).一种精密光栅位移测量装置的设计.长春光学精密机械学院学报(01),63-67.
MLA 乔永凡."一种精密光栅位移测量装置的设计".长春光学精密机械学院学报 .01(1987):63-67.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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