软X射线投影光刻技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金春水
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| 刊名 | 强激光与粒子束
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| 出版日期 | 2000-09-25 |
| 期号 | 05页码:559-564 |
| 关键词 | 软X射线 投影光刻 集成电路 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31273]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水. 软X射线投影光刻技术[J]. 强激光与粒子束,2000(05):559-564. |
| APA | 金春水.(2000).软X射线投影光刻技术.强激光与粒子束(05),559-564. |
| MLA | 金春水."软X射线投影光刻技术".强激光与粒子束 .05(2000):559-564. |
入库方式： OAI收割
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