离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析
文献类型:期刊论文
| 作者 | 赵晶丽
|
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1996-04-30 |
| 期号 | 02页码:94-97 |
| 关键词 | 离心式涂胶 膜厚均匀性 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31520] ![]() |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵晶丽. 离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析[J]. 光学精密工程,1996(02):94-97. |
| APA | 赵晶丽.(1996).离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析.光学精密工程(02),94-97. |
| MLA | 赵晶丽."离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析".光学精密工程 .02(1996):94-97. |
入库方式: OAI收割
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