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离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析

文献类型:期刊论文

作者赵晶丽
刊名光学精密工程
出版日期1996-04-30
期号02页码:94-97
关键词离心式涂胶 膜厚均匀性
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31520]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
赵晶丽. 离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析[J]. 光学精密工程,1996(02):94-97.
APA 赵晶丽.(1996).离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析.光学精密工程(02),94-97.
MLA 赵晶丽."离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析".光学精密工程 .02(1996):94-97.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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