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红外测径仪中光学衍射问题和光栏对检测精度影响

文献类型:期刊论文

作者韩森 ; 李成志 ; 杨大任
刊名长春光学精密机械学院学报
出版日期1987-04-02
期号01页码:81-88
关键词测径仪:4804 光学系统:4508 精度影响:3599 衍射:3189 红外:2682 空间分布:2625 光栏:2360 辐射通量:2294 检测:2148 工件尺寸:1979
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31548]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
韩森,李成志,杨大任. 红外测径仪中光学衍射问题和光栏对检测精度影响[J]. 长春光学精密机械学院学报,1987(01):81-88.
APA 韩森,李成志,&杨大任.(1987).红外测径仪中光学衍射问题和光栏对检测精度影响.长春光学精密机械学院学报(01),81-88.
MLA 韩森,et al."红外测径仪中光学衍射问题和光栏对检测精度影响".长春光学精密机械学院学报 .01(1987):81-88.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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