离心涂胶过程的参数变化分析与模拟
文献类型：期刊论文
| 作者 | 付永启 ; 李奉有 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1998-08-30 |
| 期号 | 04页码:76-81 |
| 关键词 | 离心式涂胶 流体力学 胶膜厚度 胶液粘度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31593]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付永启,李奉有. 离心涂胶过程的参数变化分析与模拟[J]. 光学精密工程,1998(04):76-81. |
| APA | 付永启,&李奉有.(1998).离心涂胶过程的参数变化分析与模拟.光学精密工程(04),76-81. |
| MLA | 付永启,et al."离心涂胶过程的参数变化分析与模拟".光学精密工程 .04(1998):76-81. |
入库方式： OAI收割
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