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多层光学薄膜周期厚度的双晶X射线掠入射研究

文献类型:期刊论文

作者李学千 ; 宋晓伟 ; 曲轶 ; 李梅 ; 张兴德
刊名光学技术
出版日期1998-09-20
期号05页码:37-39
关键词X射线衍射 掠入射 多层膜 厚度测量
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31816]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
李学千,宋晓伟,曲轶,等. 多层光学薄膜周期厚度的双晶X射线掠入射研究[J]. 光学技术,1998(05):37-39.
APA 李学千,宋晓伟,曲轶,李梅,&张兴德.(1998).多层光学薄膜周期厚度的双晶X射线掠入射研究.光学技术(05),37-39.
MLA 李学千,et al."多层光学薄膜周期厚度的双晶X射线掠入射研究".光学技术 .05(1998):37-39.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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