LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究
文献类型:期刊论文
作者 | 王晓华 ; 任大翠 |
刊名 | 长春光学精密机械学院学报
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出版日期 | 1997-12-30 |
期号 | 04页码:25-26+40 |
关键词 | 液相外延 扫描电子显微镜 超薄层 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31849] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓华,任大翠. LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究[J]. 长春光学精密机械学院学报,1997(04):25-26+40. |
APA | 王晓华,&任大翠.(1997).LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究.长春光学精密机械学院学报(04),25-26+40. |
MLA | 王晓华,et al."LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究".长春光学精密机械学院学报 .04(1997):25-26+40. |
入库方式: OAI收割
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