等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 米宝永 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 1997-06-30 |
| 期号 | 03页码:91-96 |
| 关键词 | 等离子 反应离子 刻蚀终点 在线监测 光学反射法 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31861]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 米宝永. 等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法[J]. 光学精密工程,1997(03):91-96. |
| APA | 米宝永.(1997).等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法.光学精密工程(03),91-96. |
| MLA | 米宝永."等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法".光学精密工程 .03(1997):91-96. |
入库方式： OAI收割
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