激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭玉彬 ; 李福田 ; 唐九华 ; 李加 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 1995-03-05 |
| 期号 | 03页码:313-319 |
| 关键词 | 软X射线 激光等离子体 光刻术 光刻胶 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31947]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭玉彬,李福田,唐九华,等. 激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究[J]. 光学学报,1995(03):313-319. |
| APA | 郭玉彬,李福田,唐九华,&李加.(1995).激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究.光学学报(03),313-319. |
| MLA | 郭玉彬,et al."激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究".光学学报 .03(1995):313-319. |
入库方式： OAI收割
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