用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王占山 ; 刘毅楠 ; 曹健林 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 1998-06-30 |
| 期号 | 02页码:43-46 |
| 关键词 | 接触式显微术 光刻胶 溶解速率 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31964]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王占山,刘毅楠,曹健林. 用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性[J]. 微细加工技术,1998(02):43-46. |
| APA | 王占山,刘毅楠,&曹健林.(1998).用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性.微细加工技术(02),43-46. |
| MLA | 王占山,et al."用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性".微细加工技术 .02(1998):43-46. |
入库方式： OAI收割
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