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28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜

文献类型:期刊论文

作者王国田 ; 马月英 ; 曹健林
刊名光学仪器
出版日期1999-10-30
期号Z1页码:200-203
关键词X射线光学 多层膜反射镜 离子束溅射
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31971]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王国田,马月英,曹健林. 28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜[J]. 光学仪器,1999(Z1):200-203.
APA 王国田,马月英,&曹健林.(1999).28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜.光学仪器(Z1),200-203.
MLA 王国田,et al."28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜".光学仪器 .Z1(1999):200-203.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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