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用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能

文献类型:期刊论文

作者郭玉彬 ; 李福田 ; 唐九华 ; 李加 ; 慎微 ; 杜涌兴
刊名光子学报
出版日期1995-06-15
期号03页码:249-257
关键词软X射线 近贴式 光刻胶 光刻术
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32029]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
郭玉彬,李福田,唐九华,等. 用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能[J]. 光子学报,1995(03):249-257.
APA 郭玉彬,李福田,唐九华,李加,慎微,&杜涌兴.(1995).用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能.光子学报(03),249-257.
MLA 郭玉彬,et al."用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能".光子学报 .03(1995):249-257.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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