用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭玉彬 ; 李福田 ; 唐九华 ; 李加 ; 慎微 ; 杜涌兴 |
| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 1995-06-15 |
| 期号 | 03页码:249-257 |
| 关键词 | 软X射线 近贴式 光刻胶 光刻术 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32029]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭玉彬,李福田,唐九华,等. 用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能[J]. 光子学报,1995(03):249-257. |
| APA | 郭玉彬,李福田,唐九华,李加,慎微,&杜涌兴.(1995).用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能.光子学报(03),249-257. |
| MLA | 郭玉彬,et al."用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能".光子学报 .03(1995):249-257. |
入库方式： OAI收割
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