软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李哲
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1997-10-30 |
| 期号 | 05页码:74-78 |
| 关键词 | 软X射线接触式显微术 生物样品 抗蚀膜 显影条件 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32041]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李哲. 软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析[J]. 光学精密工程,1997(05):74-78. |
| APA | 李哲.(1997).软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析.光学精密工程(05),74-78. |
| MLA | 李哲."软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析".光学精密工程 .05(1997):74-78. |
入库方式： OAI收割
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