30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡卫兵 ; 尼启良
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| 刊名 | 真空科学与技术
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| 出版日期 | 2000-12-05 |
| 期号 | 06页码:45-46 |
| 关键词 | 软X射线多层膜 离子束溅射 二级衍射峰 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32054]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡卫兵,尼启良. 30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量[J]. 真空科学与技术,2000(06):45-46. |
| APA | 胡卫兵,&尼启良.(2000).30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量.真空科学与技术(06),45-46. |
| MLA | 胡卫兵,et al."30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量".真空科学与技术 .06(2000):45-46. |
入库方式： OAI收割
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