用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜
文献类型:期刊论文
作者 | 王国田 ; 马月英 ; 曹健林 |
刊名 | 光学仪器
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出版日期 | 1999-10-30 |
期号 | Z1页码:22-26 |
关键词 | 软X射线多层膜 离子束溅射 反射率计 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32150] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王国田,马月英,曹健林. 用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜[J]. 光学仪器,1999(Z1):22-26. |
APA | 王国田,马月英,&曹健林.(1999).用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜.光学仪器(Z1),22-26. |
MLA | 王国田,et al."用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜".光学仪器 .Z1(1999):22-26. |
入库方式: OAI收割
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