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用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜

文献类型:期刊论文

作者王国田 ; 马月英 ; 曹健林
刊名光学仪器
出版日期1999-10-30
期号Z1页码:22-26
关键词软X射线多层膜 离子束溅射 反射率计
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32150]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王国田,马月英,曹健林. 用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜[J]. 光学仪器,1999(Z1):22-26.
APA 王国田,马月英,&曹健林.(1999).用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜.光学仪器(Z1),22-26.
MLA 王国田,et al."用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜".光学仪器 .Z1(1999):22-26.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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