含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨进堂 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 1997-06-30 |
| 期号 | 03页码:97-101 |
| 关键词 | 圆光栅 周期性误差 刻划误差检测 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32164]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨进堂. 含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定[J]. 光学精密工程,1997(03):97-101. |
| APA | 杨进堂.(1997).含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定.光学精密工程(03),97-101. |
| MLA | 杨进堂."含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定".光学精密工程 .03(1997):97-101. |
入库方式： OAI收割
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