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KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究

文献类型:期刊论文

作者梁静秋
刊名功能材料与器件学报
出版日期1998-06-30
期号02页码:55-59
关键词激光光刻 微细加工 LIGA工艺
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32179]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
梁静秋. KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究[J]. 功能材料与器件学报,1998(02):55-59.
APA 梁静秋.(1998).KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究.功能材料与器件学报(02),55-59.
MLA 梁静秋."KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究".功能材料与器件学报 .02(1998):55-59.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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