KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁静秋
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| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 1998-06-30 |
| 期号 | 02页码:55-59 |
| 关键词 | 激光光刻 微细加工 LIGA工艺 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32179]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋. KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究[J]. 功能材料与器件学报,1998(02):55-59. |
| APA | 梁静秋.(1998).KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究.功能材料与器件学报(02),55-59. |
| MLA | 梁静秋."KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究".功能材料与器件学报 .02(1998):55-59. |
入库方式： OAI收割
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