单晶硅片的低温抛光技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 韩荣久 ; 孙恒德 ; 徐德全 ; 张云 ; 王立江 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1998-10-30 |
| 期号 | 05页码:106-111 |
| 关键词 | 低温抛光 抛光模层 抛光液 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32294]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩荣久,孙恒德,徐德全,等. 单晶硅片的低温抛光技术[J]. 光学精密工程,1998(05):106-111. |
| APA | 韩荣久,孙恒德,徐德全,张云,&王立江.(1998).单晶硅片的低温抛光技术.光学精密工程(05),106-111. |
| MLA | 韩荣久,et al."单晶硅片的低温抛光技术".光学精密工程 .05(1998):106-111. |
入库方式： OAI收割
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