用透射光栅谱仪测量多层膜的反射特性
文献类型:期刊论文
作者 | 王占山 |
刊名 | 光学精密工程
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出版日期 | 1999-08-30 |
期号 | 04页码:22-27 |
关键词 | 软X射线 多层膜 反射率 透射光栅光谱仪 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32314] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王占山. 用透射光栅谱仪测量多层膜的反射特性[J]. 光学精密工程,1999(04):22-27. |
APA | 王占山.(1999).用透射光栅谱仪测量多层膜的反射特性.光学精密工程(04),22-27. |
MLA | 王占山."用透射光栅谱仪测量多层膜的反射特性".光学精密工程 .04(1999):22-27. |
入库方式: OAI收割
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