纳米级光学超精密加工技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 于劲 ; 曹健林 |
| 刊名 | 物理
 |
| 出版日期 | 1992-12-26 |
| 期号 | 12页码:726-731 |
| 关键词 | 超精密加工技术:7094 浮法抛光:3425 纳米级:3411 表面粗糙度:2834 SPDT:2615 离子束抛光:2163 亚纳米:1538 光电子学:1298 原子:1190 主轴:1127 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32364]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于劲,曹健林. 纳米级光学超精密加工技术[J]. 物理,1992(12):726-731. |
| APA | 于劲,&曹健林.(1992).纳米级光学超精密加工技术.物理(12),726-731. |
| MLA | 于劲,et al."纳米级光学超精密加工技术".物理 .12(1992):726-731. |
入库方式： OAI收割
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