一种非接触光电尺寸检测仪研制
文献类型:期刊论文
作者 | 郑文学 ; 安伟 ; 谷东兵 ; 张剑家 |
刊名 | 仪器仪表学报
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出版日期 | 1995-02-15 |
期号 | 01页码:72-75 |
关键词 | 非接触测量:6442 尺寸检测:5923 位置传感器:3499 检测仪:2362 偏振分光棱镜:1173 临界角:1078 光斑位置:945 计算机辅助设计:944 软材料:814 光学系统:767 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32392] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑文学,安伟,谷东兵,等. 一种非接触光电尺寸检测仪研制[J]. 仪器仪表学报,1995(01):72-75. |
APA | 郑文学,安伟,谷东兵,&张剑家.(1995).一种非接触光电尺寸检测仪研制.仪器仪表学报(01),72-75. |
MLA | 郑文学,et al."一种非接触光电尺寸检测仪研制".仪器仪表学报 .01(1995):72-75. |
入库方式: OAI收割
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