GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈斌
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1997-10-30 |
| 期号 | 05页码:58-63 |
| 关键词 | 超精密抛光 表面粗糙度 聚氨酯 LiGaO_2 SiO_2 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32424]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈斌. GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验[J]. 光学精密工程,1997(05):58-63. |
| APA | 陈斌.(1997).GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验.光学精密工程(05),58-63. |
| MLA | 陈斌."GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验".光学精密工程 .05(1997):58-63. |
入库方式： OAI收割
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