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离子刻蚀技术现状与未来发展

文献类型:期刊论文

作者任延同
刊名光学精密工程
出版日期1998-04-30
期号02页码:8-15
关键词离子刻蚀技术 等子体刻蚀 反应离子刻蚀 离子束铣 聚焦离子刻蚀
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32429]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
任延同. 离子刻蚀技术现状与未来发展[J]. 光学精密工程,1998(02):8-15.
APA 任延同.(1998).离子刻蚀技术现状与未来发展.光学精密工程(02),8-15.
MLA 任延同."离子刻蚀技术现状与未来发展".光学精密工程 .02(1998):8-15.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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