离子刻蚀技术现状与未来发展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 任延同 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 1998-04-30 |
| 期号 | 02页码:8-15 |
| 关键词 | 离子刻蚀技术 等子体刻蚀 反应离子刻蚀 离子束铣 聚焦离子刻蚀 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32429]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任延同. 离子刻蚀技术现状与未来发展[J]. 光学精密工程,1998(02):8-15. |
| APA | 任延同.(1998).离子刻蚀技术现状与未来发展.光学精密工程(02),8-15. |
| MLA | 任延同."离子刻蚀技术现状与未来发展".光学精密工程 .02(1998):8-15. |
入库方式： OAI收割
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