一种精密X-Y扫描台的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张二星 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 1997-04-30 |
| 期号 | 02页码:90-93 |
| 关键词 | X－Y扫描台 扫描机构 定位精度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32439]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张二星. 一种精密X-Y扫描台的研究[J]. 光学精密工程,1997(02):90-93. |
| APA | 张二星.(1997).一种精密X-Y扫描台的研究.光学精密工程(02),90-93. |
| MLA | 张二星."一种精密X-Y扫描台的研究".光学精密工程 .02(1997):90-93. |
入库方式： OAI收割
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